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    沈阳芯源公司“集成电路InFO工艺制程涂胶显影机研发与产业化项目”获评辽宁省科技进步一等奖
    发布时间:2020-06-30   浏览次数4114
    日前,辽宁省人民政府发布了关于2019年度辽宁省科学技术奖励的决定。沈阳芯源微电子设备股份有限公司提报的“集成电路InFO工艺制程涂胶显影机研发与产业化项目”被评为辽宁省科技进步一等奖。

    该项目通过自主研发,突破了集成电路后道先进封装InFO工艺涂胶显影设备关键技术,并进行集成创新,使设备整体技术达到国际先进水平。该项目产品于2016年成功拿下台湾市场批量订单,实现进口替代。

    未来,芯源公司将不断加大创新力度,为客户提供更加优质可靠的产品,助推国产半导体产业进步,成为受社会尊重的世界级企业!



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